#精密制程

防静电陶瓷定制 半导体精密制程防护陶瓷配件

在半导体晶圆厂的洁净车间里，污染控制早已从"颗粒时代"迈入"静电时代"。当工艺节点推进至7nm、5nm乃至3nm，器件栅氧化层厚度已压缩至数个原子层，任何一次微小的静电放电（ESD）都可能造成不可逆的损伤——而这种损伤往往无法在当站检测中被...