沃姆提供半导体设备真空管路、高纯气体过滤、腔体加热盘一体化配套方案,气柜气路改造、真空腔体配套、实验室系统配套一站式选型报价交付。
零散研发试样、小规格非标真空转接件、微型高低压气体过滤器、小型恒温加热平台快速打样,灵活承接小订单、迭代改型,配合高校、研究院实验气路持续优化迭代。
KF系列真空标准件常备批量备货、腔体异形转接结构定制、炉体恒温加热底座配套;同步配置进气除尘过滤器、尾气防堵塞过滤组件,适配碳化硅长晶炉、光学镀膜炉、热处理真空设备长期批量配套需求。
涂胶、显影、固晶、半导体测试机恒温加热基座定制配套,搭配设备内部小型真空管路、末端微型气体过滤器小批量供货,满足封测设备精密温控、超高纯气源、真空密封多重技术要求,快速试样验证准入。
为半导体厂房集中供气系统提供分级净化方案:总管洁净气体过滤器+支路精密过滤+高压钢瓶端高纯高压气体过滤器多级配置,同步配套真空管路连接件,整体改造施工配套供货,解决气源杂质超标、管路污染问题,稳定制程良率。
沃姆专注半导体高温工况非标陶瓷整体配套,依托氮化铝、高纯氧化铝、碳化硅、氮化硅耐高温基材,一站式提供加热盘、静电卡盘、聚焦环、陶瓷传输件、绝缘结构件全系列零部件。产品适配 PVD、刻蚀、CVD、ALD、氧化扩散炉与第三代半导体外延设备,可耐受 200-1200℃高温,具备高导热、抗等离子腐蚀、低放气、热稳定性强等优势。支持按设备图纸定制加工,完成高温烧结、精
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