关于我们

WOMMER沃姆专注半导体高温精密陶瓷非标定制的国产化零部件综合服务商，设立福州全球总部、上海技术研发中心、东莞交付中心，深耕半导体高温真空、等离子制程领域，为国内半导体设备厂商、8/12 寸晶圆制造工厂、第三代 SiC/GaN 外延产线提供全套核心陶瓷解决方案。

公司核心主推全系列高温陶瓷零部件，可提供氮化铝、高纯氧化铝、碳化硅、氮化硅、氧化锆全材质精密加工，产品包含一体式带手柄氮化铝高温陶瓷加热盘、高温陶瓷静电卡盘 ESC、耐高温氧化铝聚焦环、晶圆传输陶瓷手臂、高温喷淋板、高温绝缘陶瓷结构件；适配刻蚀、PVD、CVD、ALD、高温氧化扩散炉、涂胶显影全制程，全部支持图纸非标开发、微米级高温烧结、陶瓷金属化封接，出厂配套绝缘耐压、热导率、氦检、洁净度全套检测报告。

同步配套供应半导体加热盘、空压机高纯气体过滤器，真空管路配件作为成套辅材按需配套，可实现陶瓷核心件 + 真空法兰 / 转接接头一站式打包供货，降低设备厂商多供应商对接成本。

依托上海技术研发团队，专注高温工况零部件进口替代，针对超高真空、高温等离子、腐蚀特气严苛工况优化材质结构；依托三地协同体系，支持研发打样、中小批量试产、长期框架批量供货，助力国内半导体设备产业链自主可控。