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半导体设备配套成功案例

真空腔体恒温加热 · 真空管路成套配套 · 刻蚀腔体陶瓷耗材 · 高纯特气过滤系统落地实例

高纯特气过滤系统

高纯特气过滤系统

应用工艺:刻蚀/PVD/CVD
核心产品:纳米过滤器
价值点:低析出、高精度、易维护

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真空腔体恒温加热方案

真空腔体恒温加热方案

应用工艺:薄膜沉积
核心产品:半导体加热盘
价值点:温场均匀、低放气、高可靠

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刻蚀腔体陶瓷耗材配套

刻蚀腔体陶瓷耗材配套

应用工艺:干法刻蚀
核心产品:聚焦环/喷淋板/绝缘环
价值点:耐高温、抗腐蚀、低颗粒污染

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真空管路成套配套

真空管路成套配套

应用场景:高纯气体输送
核心产品:真空管路配件/纳米过滤器
价值点:洁净密封、模块化供货、降低对接成本

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