半导体精密制程全套解决方案

文章摘要

KF系列真空标准件常备批量备货、腔体异形转接结构定制、炉体恒温加热底座配套；同步配置进气除尘过滤器、尾气防堵塞过滤组件，适配碳化硅长晶炉、光学镀膜炉、热处理真空设备长期批量配套需求。