陶瓷静电卡盘ESC

专业半导体陶瓷静电卡盘ESC非标定制

关于陶瓷静电卡盘ESC

专业半导体陶瓷静电卡盘ESC非标定制，采用高纯氮化铝/氧化铝陶瓷材质，微米级平面度、绝缘耐压稳定，适配刻蚀、薄膜沉积设备8寸/12寸晶圆吸附承载，支持尺寸、孔位、结构异形定制。

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