半导体纳米空压机气体直插过滤器,是专为半导体车间压缩空气管路、空压机后端净化系统开发的快装直插式精密过滤配件,区别于传统法兰、分体式过滤器,采用一体化直插结构,安装便捷、拆装维护简单,适配各类精密设备气源终端使用。
产品采用纳米级微孔过滤介质,可拦截压缩空气中的粉尘微粒、水汽、油雾及纳米级杂质,解决空压机气源不纯导致的晶圆污染、腔体积尘、工艺参数漂移、设备精密部件磨损等问题,为刻蚀、镀膜、检测、封装等制程提供高洁净稳定气源。
整体采用半导体级低放气、无纤维脱落、耐高压、耐腐蚀洁净材质,通气顺畅、气阻小、纳污量大,长期工作无析出、无污染,满足半导体高洁净生产标准。一体式紧凑结构体积小、适配性强,可直接对接标准气管与设备终端。
支持外径、长度、接口规格非标定制,适配各类空压机后置过滤、终端气源净化场景,支持打样与批量供货,替代进口精密直插式过滤配件,降低设备运维与采购成本。