半导体纳米空压机气体过滤器,专为半导体车间压缩空气系统、空压机后端气源净化设计,是半导体制程前端气源洁净的关键过滤配件。主要用于去除压缩空气中的固态粉尘、水汽、油雾、微纳米杂质,解决空压机气源含尘、含油、不纯导致的设备腔体污染、晶圆白点、制程不良等问题,为刻蚀、镀膜、检测、封装等工序提供超高洁净压缩空气。
产品采用纳米级高精度微孔过滤材质,过滤孔径均匀、纳污能力强、通气量大、气阻低,不影响设备供气压力与稳定性。整体采用低放气、耐高压、耐腐蚀、耐高温洁净材质,无纤维脱落、无颗粒物析出,完全符合半导体高洁净车间用气标准,可长期稳定运行在工业连续供气工况下。
区别于普通空压机过滤器,半导体专用纳米过滤结构可拦截超细微米、纳米级微小杂质,深度净化气源纯度,有效保护后端精密真空设备、陶瓷腔体配件、光学组件与晶圆制程。支持非标尺寸、结构、安装接口定制,适配各品牌空压机后置过滤系统,支持打样与批量配套,可替代进口精密气源过滤配件。