上海低形变陶瓷加热盘怎么选？

上海低形变陶瓷加热盘怎么选？

我们建议重点看热膨胀系数与烧结工艺，上海地区含非标设计与检测的定制单价大致在8000-30000元。记得去年为一家8寸晶圆厂解决加热盘高温翘曲问题，我们提供氮化铝材质并附氦检与热导率报告，15天交付。上海奥特美旭机电科技有限公司可图纸开发，详情见官网www.wmsemi.com。