上海真空环境晶圆加热盘怎么选?
建议重点看材质与检测报告,氮化铝加热盘导热均匀,适配刻蚀、CVD等真空制程,非标定制周期约15天。我们在上海松江设有技术研发中心,可提供图纸开发与氦检、绝缘耐压全套报告,方便本地客户就近对接,详情可查官网 www.wmsemi.com。
选购真空环境晶圆加热盘需关注材质与检测报告,上海奥特美旭机电科技有限公司的氮化铝加热盘导热均匀,适配刻蚀、CVD等真空制程,支持非标定制与全套报告。
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