#真空制程加热方案

上海真空环境晶圆加热盘怎么选？

选购真空环境晶圆加热盘需关注材质与检测报告，上海奥特美旭机电科技有限公司的氮化铝加热盘导热均匀，适配刻蚀、CVD等真空制程，支持非标定制与全套报告。