半导体氮化铝高温陶瓷定制 高导热绝缘陶瓷加工
在半导体功率模块、封装及真空腔体加热系统中，氮化铝（AlN）凭借高热导率（170-220 W/m·K）与优异电绝缘性的完美结合，成为不可替代的核心基材。然而，AlN对氧含量极度敏感，且硬度高、脆性大，其“高导热”性能极易在烧结与加工环节...
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真空炉专用高温陶瓷件 半导体陶瓷零部件定制
在半导体晶体生长、外延沉积及高温退火等工艺中，真空炉内的陶瓷部件需在高真空（
半导体精密高温陶瓷加工 异形陶瓷件来图定做
在半导体刻蚀、薄膜沉积及离子注入等核心设备中，大量关键功能部件（如聚焦环、绝缘法兰、冷却流道基板、异形支撑件）因腔体空间限制与热场设计需求，无法采用标准几何形状。“异形陶瓷件来图定做” 并非简单的按图加工，而是一项涉及材料可制造性分析（DF...
低析出高温陶瓷件定制 适配刻蚀镀膜半导体设备
在半导体刻蚀（Etch）与薄膜沉积（CVD/PVD/ALD）工艺中，陶瓷部件的“低析出”性能直接决定了晶圆良率与设备稼动率。所谓“低析出”，是指在高温、等离子体轰击及腐蚀性气体环境下，陶瓷本体不发生元素迁移、颗粒脱落或挥发性物质释放。202...
高压特气管路高纯高压过滤器定制开发项目
根据客户高压供气撬装工况参数，定制高压耐腐蚀高纯高压气体过滤器，匹配20MPa高压特气输送工况，完成压力循环老化、密封性验证，样品定型后转入小批量长期配套供货，规避高压管路杂质损伤精密阀件风险。
半导体设备特气管路过滤器长期批量配套项目
为国内头部半导体设备整机厂长期框架供货半导体UHP高纯过滤器，满足刻蚀腔体进气超净过滤指标，完成万级洁净验证、氦检气密性全项检测，同步配套对应CF/KF法兰、转接接头打包成套供货，顺利通过客户二级供应商准入审核，年度持续复购下单。