#PVD薄膜沉积加热盘

PVD薄膜沉积加热盘 高导热陶瓷晶圆加热平台定制

在芯片生产升级的宏大进程中，物理气相沉积（PVD）作为金属互连、阻挡层及功能薄膜制备的核心工艺，其成膜质量直接决定了器件的电学性能与长期可靠性。而晶圆加热平台作为PVD腔体内的热源载体，不仅承担着控温的使命，更需在真空、等离子体轰击...