#高温加热盘

4寸晶圆加热盘定制 半导体小型工艺陶瓷加热平台

在半导体研发验证、化合物半导体制造及光电子器件生产等细分领域，4寸晶圆仍是不可或缺的核心载体。相较于大尺寸量产线，这类小型工艺平台对设备的灵活性、响应速度及定制化能力提出了更高要求。作为工艺腔体内的“热心脏”，4寸晶圆加热盘的性能直接决定了...