#陶瓷腔体定制

陶瓷腔体定制 半导体真空工艺耐高温陶瓷腔体

在半导体前道制造的核心链路中，刻蚀、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、原子层沉积（ALD）及外延生长等工艺，均需在极高真空度与极端温度交织的密闭腔体内完成。随着逻辑芯片制程向3nm及2nm节点微缩，3D NAND存储堆叠层数突...