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江北碳化硅晶圆加热盘技术：如何解决晶圆加热均匀性难题 在半导体制造流程中，晶圆加热的均匀性直接影响薄膜沉积质量与光刻精度，许多江北地区的设备工程师常面临一个困惑：为何看似标准的加热盘，在实际产线中总会出现温区偏差？这个问题背后，
