#分段控温晶圆加热盘

上海分段控温晶圆加热盘技术解答：提升半导体制造精度的关键

上海奥特美旭机电科技有限公司的分段控温晶圆加热盘，通过分区独立控温技术解决晶圆加热均匀性难题，提升芯片良率。