文章摘要
沃姆专注半导体高温工况非标陶瓷整体配套，依托氮化铝、高纯氧化铝、碳化硅、氮化硅耐高温基材，一站式提供加热盘、静电卡盘、聚焦环、陶瓷传输件、绝缘结构件全系列零部件。产品适配 PVD、刻蚀、CVD、ALD、氧化扩散炉与第三代半导体外延设备，可耐受 200-1200℃高温，具备高导热、抗等离子腐蚀、低放气、热稳定性强等优势。支持按设备图纸定制加工，完成高温烧结、精密研磨、金属化封接与洁净检测全流程，可搭配纳米气体过滤器、真空管路辅材成套供货，为晶圆厂与半导体设备厂商提供国产化高温陶瓷配套解决方案，有效实现进口部件替代。