#ALD加热基座维护

沙坪坝半导体薄膜工艺加热基座技术解答：温控精度与陶瓷选型要点

去年夏天，沙坪坝一家从事功率器件研发的实验室找到我们，反映他们自建的ALD薄膜沉积平台在升温阶段总是出现晶圆表面温度不均的问题，膜厚一致性始终差强人意。