#12英寸晶圆温控

金山大尺寸晶圆定制加热盘技术解答：陶瓷加热盘选型与制程适配要点

大尺寸晶圆定制加热盘如何破解温场难题？上海奥特美旭机电科技有限公司从材料、温场设计与封接工艺三方面，分享非标定制经验，助力提升晶圆良率。