#12寸晶圆加热盘怎么选

上海12寸晶圆加热盘供应商如何保障晶圆制程温度均匀性

在半导体前道制程中，12寸晶圆加热盘是决定薄膜沉积、光刻胶烘烤、退火等工艺良率的核心承载部件。一套12寸晶圆加热盘如果出现温度分布不均，哪怕晶圆表面只有几摄氏度的偏差，也会直接导致膜厚不均、应力翘曲甚至器件失效。