#高海拔真空工况

西宁高温承压晶圆加热盘选型与使用中的几个关键细节

西宁高海拔工况下高温承压晶圆加热盘的真空保持与热应力难题，上海奥特美旭机电科技有限公司结合客户实践拆解选型关键细节。