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静海晶圆承载加热基座技术解答：从材料到工艺的完整指南

晶圆承载加热基座如何选型？上海奥特美旭机电科技有限公司解析加热均匀性、绝缘耐压与高温稳定性三大核心指标，助力静海设备工程师提升薄膜沉积工艺良率与产线效率。