#薄膜均匀性优化

德阳6寸晶圆加热盘知识：如何保障薄膜制程温度均匀性

德阳工程师注意：6寸晶圆加热盘温度不均致薄膜偏差？上海奥特美旭机电科技有限公司解析材料与热场设计核心，助您提升良率。