#聚焦环备件

德阳半导体设备陶瓷技术解答：聚焦环如何影响刻蚀均匀性

半导体设备陶瓷部件在刻蚀工艺中如何影响晶圆均匀性？上海奥特美旭机电科技有限公司解析聚焦环损耗与良率改善的关键技术方案。