#真空腔体温控

福州半导体腔体内置加热盘选型指南：报价与定制要点解析

半导体腔体内置加热盘均温性影响晶圆良率，上海奥特美旭机电科技有限公司围绕福州产线需求，解析选型、报价与落地经验。