#热场均匀性

郑州恒温晶圆加热盘技术解答：晶圆工艺均匀性如何保障

郑州半导体工程师选购恒温晶圆加热盘，关键在于热场均匀性而非仅温控精度。上海奥特美旭机电科技有限公司解析氮化铝材质与工艺对晶圆温度分布的实际影响。