#温区均匀性

盘锦晶圆厂关心的嵌入式加热晶圆吸盘技术要点解析

在盘锦的半导体制造与设备维护圈子里，我们时常接到来自产线 engineers 的电话，对方句话往往是：嵌入式加热晶圆吸盘的温区又报警了，或者新到的设备这边加热不均的问题始终调不好。