#杭州分段控温晶圆加热盘知识

为何杭州半导体产线越来越关注分段控温晶圆加热盘

想象这样一个场景：在杭州某家8寸晶圆厂的黄光区内，工艺工程师盯着调度屏幕，眉头紧锁——同一批次的晶圆，在刻蚀和沉积工序后却出现了均匀性偏差，良率掉了好几个点。排查到加热环节时，发现传统单区温控的加热盘表面温度分布出现了明显的梯度漂移。