#晶圆工艺温控

天津半导体产线如何解决温场均匀半导体晶圆加热基座的技术难题

上海奥特美旭机电科技有限公司的温场均匀半导体晶圆加热基座，有效提升晶圆刻蚀与薄膜沉积的工艺一致性，助力天津晶圆产线良率改善。