#晶圆工艺备件

半导体高温承载台如何选？上海专业供应商给出答案

晶圆在几百摄氏度的高温腔体中完成薄膜沉积、刻蚀或退火，承载它的平台一旦出现温度不均或颗粒污染，整批晶圆都有报废风险。