#晶圆加热盘分区控温

福州分段控温晶圆加热盘定制：把晶圆温差压进工艺窗口

上海奥特美旭机电科技有限公司解析分段控温晶圆加热盘如何通过分区回路与控温算法匹配，改善边缘温差，提升膜厚均匀性与批次一致性。