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福州半导体晶圆加热盘厂家怎么选？看准陶瓷材料与工艺细节

半导体晶圆加热盘是薄膜沉积与刻蚀工艺均匀性的核心部件，上海奥特美旭机电科技有限公司提供氮化铝一体式高温陶瓷方案，助福州设备厂商解决温度分布不均难题。