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广元多孔吸附晶圆加热台知识：从吸附原理到工艺适配的实用解析

上海奥特美旭机电科技有限公司的多孔吸附晶圆加热台，通过均匀微孔真空吸附改善晶圆贴合，提升高温制程温度均匀性，减少膜厚偏差。