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安阳晶圆制造必读：晶圆chuck陶瓷加热盘选型与维护知识

晶圆 chuck 陶瓷加热盘温度均匀性直接影响晶圆良率，上海奥特美旭机电科技有限公司结合安阳产线经验，分享选型与维护要点。