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娄底6寸晶圆加热盘技术解答：陶瓷材质与温场均匀性怎么选

选型6寸晶圆加热盘，温场均匀性与真空放气量才是良率关键，上海奥特美旭机电科技有限公司结合功率器件与第三代半导体实战经验，为您拆解高温制程中的隐性痛点。