#合肥薄膜沉积PVD/CVD加热盘技术解答

合肥薄膜沉积PVD/CVD加热盘技术要点详解

在半导体制造工序中，PVD和CVD作为两大核心镀膜工艺，对晶圆表面的温度均匀性有着极为苛刻的要求。而加热盘作为承载晶圆并控制反应温度的关键部件，其性能直接决定了薄膜厚度的均一性和器件的良率。