#半导体真空耐高温晶圆加热平台知识

宁波半导体真空耐高温晶圆加热平台知识：晶圆制程温控的关键

当一批碳化硅外延片在宁波某家晶圆制造工厂的高温真空设备中完成镀膜，工艺工程师紧盯监控屏幕上的温度曲线——整个制程持续数小时，加热平台表面各点温差始终控制在极小的范围内。这正是半导体真空耐高温晶圆加热平台在高端制程中扮演的核心角色。