#北碚蚀刻设备陶瓷常见问题

北碚蚀刻设备陶瓷怎么选？避开这些坑才能稳定量产

直接给北碚周边的半导体设备厂商和晶圆厂一句实在话：蚀刻设备的稳定运行，很多时候不取决于腔体设计多复杂，反而卡在几件看似不起眼的陶瓷零部件上。如果聚焦式环或者静电卡盘的热场、电场性能出现波动，整个工艺菜单都得推翻重来。