#加热盘故障维护

长宁8寸晶圆加热盘选型与维护要点解析

上海奥特美旭机电科技有限公司聚焦8寸晶圆加热盘温度均匀性下降与颗粒物增多难题，从选型、故障判断到日常维护提供可落地的实操参考。