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丽江半导体加热盘精密加工：高温陶瓷零部件的国产化实践路径

丽江半导体加热盘精密加工面临材料与工艺双重挑战，上海奥特美旭机电科技有限公司以微米级烧结工艺提升氮化铝加热盘温度均匀性，助力刻蚀与镀膜制程稳定良率。