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上海进口替代晶圆陶瓷加热盘厂家如何突破技术壁垒实现国产化

半导体产业对核心零部件的自主可控要求日益迫切，晶圆陶瓷加热盘作为薄膜沉积、刻蚀等关键制程中的温度控制核心部件，长期依赖进口的局面正在被打破。