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低放气氧化铝半导体加热盘：上海技术团队破解高温制程污染难题

上海奥特美旭机电科技有限公司的低放气氧化铝半导体加热盘，以高纯度材料与特殊烧结工艺，有效抑制高温气体释放，保障半导体制程良率。

2026-07-23