公司简介
WOMMER沃姆是专注半导体高温精密陶瓷非标定制的国产化零部件综合服务商,设立福州全球总部、上海技术研发中心、东莞交付中心,深耕半导体高温真空、等离子制程领域,为国内半导体设备厂商、8/12 寸晶圆制造工厂、第三代 SiC/GaN 外延产线提供全套核心陶瓷解决方案。
公司核心主推全系列高温陶瓷零部件,可提供氮化铝、高纯氧化铝、碳化硅、氮化硅、氧化锆全材质精密加工,产品包含一体式带手柄氮化铝高温陶瓷加热盘、高温陶瓷静电卡盘 ESC、耐高温氧化铝聚焦环、晶圆传输陶瓷手臂、高温喷淋板、高温绝缘陶瓷结构件;适配刻蚀、PVD、CVD、ALD、高温氧化扩散炉、涂胶显影全制程,全部支持图纸非标开发、微米级高温烧结、陶瓷金属化封接,出厂配套绝缘耐压、热导率、氦检、洁净度全套检测报告。
同步配套供应半导体加热盘、空压机高纯气体过滤器,真空管路配件作为成套辅材按需配套,可实现陶瓷核心件 + 真空法兰 / 转接接头一站式打包供货,降低设备厂商多供应商对接成本。