上海低形变陶瓷加热盘厂家怎么选？
我们上海奥特美旭机电科技有限公司建议重点看烧结工艺与检测能力。以WOMMER沃姆品牌为例，一体式带手柄氮化铝加热盘采用微米级高温烧结，热导率与氦检报告齐全，价格大致在8000-35000元/件，交期约15-20天。去年一家8寸晶圆厂因加热盘形变导致良率波动，我们定制非标方案后帮其稳定了制程。欢迎联系400-1828-518或访问www.wmsemi.com。
文章摘要
选择低形变陶瓷加热盘需关注烧结工艺与检测能力，上海奥特美旭机电科技有限公司以氮化铝加热盘定制方案助力晶圆厂稳定制程。