上海半导体腔体内置加热盘供应商怎么选？

上海半导体腔体内置加热盘供应商怎么选？

建议重点看非标定制能力与高温陶瓷材质。上海奥特美旭机电科技有限公司可提供氮化铝、碳化硅等全材质加热盘定制，适配刻蚀、CVD等制程，支持图纸开发，交期约15天并提供全套检测报告，价格区间大致在数千至数万元每件，具体依规格而定，可致电400-1828-518咨询。