凌晨两点,上海一家8英寸晶圆厂的设备工程师还在产线旁等一件货——刻蚀腔体里那只形状不规则的氧化铝绝缘环出现了裂纹,整台设备停下来,后面排着的几批晶圆全部顺延。这种按图纸定做、形状不走常规路线的陶瓷零件,行业里统一叫陶瓷异形定制。它不是标准品,货架上拿不到,从图纸确认、粉体成型、烧结到精密加工,少说也要十几天的周期。
陶瓷异形定制的加工难点
也正因为如此,采购和工艺工程师在面对陶瓷异形定制时,往往同时关心三件事:谁能做、做得稳不稳、报价合不合理。下面就把上海地区的实际情况拆开来讲,重点放在选厂思路和报价构成这两块。
陶瓷异形定制难在哪,先弄明白这条加工链
标准陶瓷件只要满足公差就能装配,异形件却要在几个环节同时过关。一是材质选择,氮化铝导热性能好、高纯氧化铝绝缘性能强、碳化硅耐等离子侵蚀、氮化硅抗热震、氧化锆韧性好,材质选错,后面怎么加工都补不回来。二是烧结收缩,异形结构在不同方向上的收缩并不一致,烧完之后尺寸可能整体偏移,壁厚不均的位置还容易变形。
上海选厂与报价要点
三是精密加工与陶瓷金属化封接。微米级的孔位、沟槽和