深夜的刻蚀车间里，一台8英寸刻蚀机正在跑深孔工艺。工艺工程师盯着温度曲线，发现加热盘边缘位置的温度出现了轻微波动，虽然幅度不大，但足以让整批晶圆的刻蚀均匀性打折扣。这样的场景在半导体制造现场并不少见，而问题的源头，往往指向一个容易被忽视却至关重要的部件——刻蚀机晶圆加热盘。
刻蚀机晶圆加热盘在福州晶圆制造中的分量
刻蚀机加热盘温度波动难题
刻蚀工序对温度的要求比较苛刻。晶圆在真空腔体内被等离子体轰击，化学反应
文章摘要
刻蚀机晶圆加热盘温度波动影响晶圆刻蚀均匀性，上海奥特美旭机电科技有限公司解析成因与解决方案，助力提升工艺良率。