贵港的第三代半导体产线在近两年陆续进入设备调试阶段，不少工程师发现，同样规格的陶瓷零部件，在高温真空环境下的表现差异很大。有的加热盘用不到一个季度就出现绝缘阻值下降，有的静电卡盘在等离子制程中吸附力明显衰减。这些问题往往不是设备本身的问题，而是陶瓷材料选型和加工精度没有匹配实际工况。我们上海奥特美旭机电科技有限公司在服务国内8英寸、12英寸晶圆厂的过程中，接触过不少类似案例，今天就从技术解答的角度，聊聊贵港新能源半导体陶瓷那些值得关注的关键点。
贵港半导体产线为何对新能源半导体陶瓷提出更高要求
贵港近年来在新能源材料和功率器件领域持续布局，SiC和GaN外延产线对高温零部件的耐受能力要求比传统硅基产线更严苛。以刻蚀工序为例，腔体内部温度波动范围大，等离子体轰击频繁，普通氧化铝陶瓷在长期使用后容易出现微裂纹，进而影响整条产线的良率稳定。氮化铝陶瓷因为热导率高、热膨胀系数与硅片接近，在高温加热盘和静电卡盘上的优势比较明显。我们在与贵港几家设备集成商沟通时发现，他们比较关注的是陶瓷件在800摄氏度以上长期运行后的尺寸稳定性，以及金属化封接处的气密性表现。这些指标直接关系到设备能否连续跑片。
做好贵港新能源半导体陶瓷供应的几点建议
贵港半导体陶瓷选型要点
对于贵港本地的设备厂商和晶圆厂来说，选择陶瓷零部件供应商时，建议重点考察三个方面：一是是否具备全材质加工能力，避免不同部件分开采购带来的匹配问题；二是能否提供完整的检测数据和质保承诺，我们目前对核心产品提供两年质保；三是供应商是否熟悉高温真空和等离子制程的实际工况。WOMMER沃姆作为专注半导体高温精密陶瓷非标定制的国产化零部件综合服务商，在上海设有技术研发中心，在福州设立全球总部，东莞交付中心负责快速响应。我们可提供氮化铝、高纯氧化铝、碳化硅、氮化硅、氧化锆全材质精密加工，覆盖刻蚀、PVD、CVD、ALD、高温氧化扩散炉和涂胶显影全制程。如果贵港的产线正在寻找陶瓷零部件的替代方案，欢迎通过官网www.wmsemi.com或电话400-1828-518与我们交流，我们可以从图纸评估开始，提供针对性的选型建议。